真空系统设计培训课件(PPT 124页)

之一：真空技术的历史、现在与将来
之二：真空工程理论基础
之三：科技论文的检索、撰写与发表
之四：清洁真空获得技术
之五：真空系统设计
之六：真空系统设计辅助软件的使用
之七：真空测量
之八：真空装置与系统的检漏
之九：大型真空装置的监测与故障诊断
之十：专家座谈
之十一：真空获得技术
之十二：现代表面与薄膜技术
之十三：真空材料与真空卫生
之十四：真空技术应用及计算实例
磁控溅射镀膜机
金属蒸汽真空弧源注入机
课程内容
1.真空系统的组成
1.1 真空系统的概念
1.2 真空系统的组成元件
1.3 真空系统示意图
1.4 高真空系统
1.5 的基本内容
2.真空技术基本方程
2.1 真空系统的最主要性能参数极限真空度和有效抽速
2.2 流导的定义
2.3 真空技术基本方程
2.4 真空技术基本方程在中的意义
3.真空系统的设计计算
3.1 选主泵
3.2 配泵
3.3 储气罐和维持泵
 罗茨泵旋片泵维持泵
3.4 真空系统设计中应该注意的问题
3.6 真空系统的结构设计
真空系统组成元件
1  真空阀门
1.1 概  述
真空阀门在真空系统中的作用
真空阀门的分类
1.2 真空阀门的几种典型结构
隔膜阀
真空球阀
真空蝶阀
插板阀
挡板阀
翻板阀
电磁阀
针阀
超高真空阀
玻璃真空活塞
无油玻璃真空阀
2 捕集器
2.1 挡油帽
2.2 机械捕集器
概述
机械捕集器的型式如表4
机械捕集器的设计原则及其典型结构
在设计障板时应注意以下原则:
典型的几种机械捕集器的结构如图35至图38所示。
2.3 冷凝捕集器
冷阱的典型结构
图39是一种长效冷凝捕集器。
图40的结构具有较大流导,可防止蒸气分子向上蠕动。
图41是一种高效冷凝捕集器。
图44是一种复合式冷阱。
图45是中心带有液氮罐的冷阱
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