磁控溅射镀膜原理及工艺培训教材(PPT 44页)

摘要
绪论
1磁控溅射原理
1.1磁控溅射种类
1.1.1技术分类
2.1.2气体环境
2.1.3气体压强
2.1.4传动速度
2.1.5距离与速度及附着力
2.2系统参数
2.2.1靶结构
2.2.2磁场
2.3可变参数
2.3.1功率
2.3.2速度
2.3.3气体
2.3.4阴极/基片之间的关系
3.2试验设备
3.3试验原理
3.5不同工作气压下所得试验结果
3.5.1试验结果分析
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