洁净室及相关受控环境检测方法(DOC 60页)

前言
引言
1范围
2引用标准
3术语与定义
3.1概述
3.2空气悬浮粒子测量
3.3空气过滤器与系统
3.4气流
3.5静电测量
3.6测量仪器与测量条件
3.7占用状态
4检测方法
4.1洁净室检测
4.2原理
5检测报告
附件A（资料）各种检测的选择和实施顺序
附件B（资料）检测方法
附件C（资料）检测仪器
文献（略）
第1部分：空气洁净度分级
第2部分：证明一直符合ISO14644-1的检测和监测技术条件
第3部分：检测方法
第4部分：设计、建造和启动
第5部分：运行
第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）
第8部分：空气分子污染分级
正在编写的部分有：
第6部分：词汇
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