您现在的位置： 精品资料网 >> 生产管理 >> 工艺技术 >> 资料信息

半导体制造工艺培训课程(PPT 28页)

所属分类：
工艺技术
文件大小：
840 KB
下载地址：
相关资料：
半导体制造,制造工艺,工艺培训,培训课程
半导体制造工艺培训课程(PPT 28页)内容简介
3.1　引言
3.2　污染物杂质的分类
3.3　清洗方法概况
3.4　常用清洗设备——超声波清洗设备
3.5　质量控制
1.硅片表面的平行光束检查
2. 400倍暗场显微镜检查
3.出水电阻率检查
4. MOS结构的高频C-V测试检查
5. CVD二氧化硅膜检测法

..............................

上一篇：半导体制造工艺课件(PPT 41页)

下一篇：半导体制造工艺教材(PPT 40页)