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半导体制造工艺课件(PPT 41页)

所属分类：
工艺技术
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半导体制造工艺课件(PPT 41页)内容简介
4.1　引言
4.2　二氧化硅膜的性质
4.3　二氧化硅膜的用途
4.4　热氧化原理
4.5　氧化设备
4.6　氧化膜的质量控制
4.7　氧化工艺模拟

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