外延工艺培训课件(PPT 34页)

3.7 外延工艺
2外延生长设备
3.7.4 金属材料CVD
3.7.5 CVD反应室
低压LPCVD
资料：扩展的PECVD制造大面积太阳能电池
高密度等离子体化学气相沉积设备  
多功能等离子体CVD设备（Plasma Enhanced CVD）
MOCVD1
MOCVD2
MOCVD3
MOCVD4
3.7.5 外延新技术
分子束外延

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