集成电路工艺基础—硅的晶体结构培训课件(ppt 49页)
集成电路工艺基础—硅的晶体结构培训课件(ppt 49页)内容简介
主要内容
1.1硅晶体结构的特点
1.2晶向、晶面和堆积模型
1.3硅晶体中的缺陷
1.4硅中的杂质
1.5杂质在硅晶体中的溶解度
1.6硅单晶生长
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1.1硅晶体结构的特点
1.2晶向、晶面和堆积模型
1.3硅晶体中的缺陷
1.4硅中的杂质
1.5杂质在硅晶体中的溶解度
1.6硅单晶生长
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