真空材料与工艺技术培训资料(PPT 162页)

真空材料与工艺
1真空工程材料
1.2.1.2材料的出气
材料出气总量:
1.2.1.3材料的蒸发、升华、蒸气压
材料的蒸气压力与放气压力区分：
1.2.2材料的其它性能
1.2.3.2对密封材料的要求
1.3金属材料
1.3.1铸件
1.3.2钢及不锈钢
中低真空系统：
1.3.2.2不锈钢
1.3.3有色金属
1.3.3.2铜
铂（Pt）、铱（Ir）
1.3.4.3金（Au）
1.3.5软金属
1.3.6难熔金属1.3.6.1钨(W)
1.3.6.4铼（Re）
1.3.7汞（Hg）
1.4非金属材料
1.4.2陶瓷1.4.2.1陶瓷的性质
1.4.3.2聚乙烯和聚丙烯
1.4.5橡胶
1.4.5.2合成橡胶
1.4.5.3真空密封橡胶的选择
1.5.2辅助密封材料
真空中常用除油脂有机溶剂有：
（4）汽油
3.碱和酸类
（2）酸类
底部或侧壁装有换能器的清洗槽
超声清洗机常用型式：
超声波发生器与清洗槽分开形式
分开式2
超声清洗的功率
3超声波频率
2.2.1.5高压饱和蒸汽清洗
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