硅材料科学与技术教材(PPT 63页)

硅材料科学与技术
太阳电池分类
多晶硅的定义
多晶硅国外情况
国际多晶硅主要技术特征有以下两点：
国内多晶硅情况
国内外情况对比
多晶硅的生产有着许多方面的壁垒
多晶硅的主要生产方法和工艺
硅的提纯
1、三氯氢硅还原法（SIMENS法）
三氯氢硅
三氯氢硅合成
三氯氢硅的提纯
.氢还原三氯氢硅
改良的西门子法
改进之处
西门子法的显著特点
2、硅烷热分解法
1.硅烷的制备
硅烷的提纯
3.硅烷的热分解
各种工艺路线特点比较
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