多晶硅铸锭炉操作与生产流程培训教材(PPT 31页)

多晶铸锭炉简介与硅锭生产流程
培训内容
主要用途和特性
设备的组成和工作原理
1炉体部件
2加热隔热系统
3真空与供气系统
4冷却系统
5电源供应与控制系统
工作原理
结晶炉操作界面
报警窗口
监控窗口
自动控制窗口
工艺窗口
手动控制窗口
趋势图窗口
硅锭生产流程
坩埚喷涂
坩埚烘烤
备料
检验
装料
进炉
监控
出炉
脱锭入库
注意事项
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