微晶玻璃冰冻固结磨料抛光工艺研究(PDF 78页）

第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯．1
1．1：；J言⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯1
1．2固结磨料抛光技术的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯．2
1．2．1固结磨料抛光技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2
1．2．2冰冻固结磨料抛光技术研究现状⋯⋯4
1．3微晶玻璃的超精密抛光研究现状⋯⋯⋯⋯⋯5
1．4课题来源与研究目的及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．5
1．5本文研究的主要内容⋯6
第二章微晶玻璃脆塑转变机理的研究⋯⋯⋯⋯8
2．1 j；I言⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．8
2．2微晶玻璃综述⋯⋯⋯⋯8
2．2．1微晶玻璃的发展历史和现状⋯⋯⋯⋯8
2．2．2硬盘基板用微晶玻璃的组成、结构与性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯9
2．3不同温度下微晶玻璃的脆塑转变机理⋯⋯12
2．3．1实验装置与方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．12
2．3．2结果分析与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯13
2．4本章小结⋯⋯⋯⋯⋯15
第三章微纳米Ce02颗粒的分散工艺研究⋯⋯⋯16
3．1引言16
3．2微纳米粒子的分散技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯16
3．2．1颗粒在液相中的分散及稳定⋯⋯⋯16
3．2．2颗粒的分散方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．17
3．2．3颗粒液相分散性能的评价方法⋯⋯19
3．3微米级Ce02在水相介质中的分散性能研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。20
3．3．1实验方法⋯⋯⋯．20
3．3．1．1实验材料及仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯20
3．3．1．2微米Ce02沉淀物的测量⋯⋯20
3．3．1．3 TagucIIi方法实验设计⋯⋯⋯2l
3．3．2结果分析与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．2l
3．3．2．1分散指标对粉体悬浮性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。2l
3．3．2．2离差分析．24
3．4纳米级Ce02在水相介质中的分散性能研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．24
3．4．1实验方法⋯⋯24
3．4．2结果分析与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯25
3．4．2．1不同pH值水相介质中纳米Ce02的Zeta电位⋯⋯25
3．4．2．2超声时间对纳米Ce02的分散性能的影响⋯⋯⋯⋯26
3．4．2．3分散剂浓度对纳米Ce02的分散性能的影响⋯⋯⋯27
3．5本章小结⋯⋯⋯⋯⋯28
第四章低温抛光设备及抛光工具的制备⋯⋯⋯30
4．1弓I言30
4．2低温抛光设备及其改造30
4．2．1低温抛光设备介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯30
4．2．2抛光设备的改造⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．3 l
4．3冰冻固结磨料抛光垫及工件承载器的制备32
4．3．1冰冻模具的设计⋯⋯⋯⋯⋯。⋯⋯．33
4．3．2冰冻固结磨料抛光垫的制备工艺⋯⋯34
4．3．3工件承载器的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯36
4．4本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯37
第五章冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究38
5．1引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。38
5．2冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺准备⋯38
5．2．1微晶玻璃的粘结工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯．38
5．2．2微晶玻璃的预加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．39
5．2．3冰冻抛光垫表面的预处理⋯⋯⋯⋯．40
5．2．4微晶玻璃抛光后的表面处理⋯⋯⋯．40
5．2．5微晶玻璃表面形貌的表征⋯⋯⋯⋯4l
5．2．6材料去除率的测定⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯4l
5．3微米级冰冻固结磨料抛光工艺研究⋯⋯⋯．42
5．3．1工艺参数对材料去除率的影响⋯⋯．43
5．3．2工艺参数对表面粗糙度的影响⋯⋯⋯44
5．4纳米级冰冻固结磨料抛光工艺研究⋯⋯⋯46
5．4．1 Tagllchi法⋯⋯．46
南京航空航天大学硕士学位论文
5．4．2抛光参数对材料去除率的影响⋯⋯．47
5．4．3抛光参数对表面粗糙度的影响⋯⋯．49
5，4．4离差分析⋯⋯．51
5．4．5综合平衡法⋯。52
5．5本章小结⋯⋯⋯⋯⋯53
第六章总结与展望⋯⋯。54
6．1总结54
6．2展望55
参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。56
翌|【谢⋯⋯．63
在校期间的研究成果及发表的学术论文⋯。⋯．64
1．学术论文⋯⋯⋯⋯⋯．“
2．申请的发明专利⋯⋯．．“
3．主要参与的科研项目。“
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