集成电路工艺培训课件(PPT 57页)

刻蚀
1.引言
1.1刻蚀的概念
1.2刻蚀工艺的目的
1.4刻蚀的分类
2.刻蚀参数及现象
3.干法刻蚀
3.1干法刻蚀原理
3.2干法刻蚀的应用
4.湿法刻蚀
4.1湿法刻蚀的原理
4.2常用材料的湿法刻蚀
常见湿法刻蚀技术
5.总结
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