重大产业化工程推进计划项目申报指南(doc 13页)

重大产业化工程推进计划项目申报指南内容提要：
    本计划是以壮大新区高新技术产业、促进战略性新兴产业发展为目标，对在新区范围内新投资企业和现有企业（增资增项）实施技术成果转化并产业化的项目给予资金扶持的科技计划类别。
    关键技术、共性技术成果转化专项是面向金州新区高新技术产业和新兴产业领域企业利用关键、共性技术创新成果实施产业化转化的项目。
    一、申报内容（课题）
    我区高新技术产业和社会发展急需解决的关键技术、共性技术攻关项目资助。本计划采取命题方式，具体课题如下：
    （一）半导体关键设备与材料研发及产业化
    1、领域：半导体照明
    2、主要研究内容：蓝宝石衬底的刻蚀技术；蓝宝石衬底的产业化制备技术；LED外延用新型MO源、高纯氨等LED外延生长用关键原材料制备技术。半导体关键设备研发技术。
    3、考核指标：
    （1）开发出适合于GaN基LED外延工艺的免处理衬底，达到同期国际先进水平，满足外延工艺要求，月产能达到万片以上。
    （2）MO源用高纯Ga、In等化合物纯度，TEGa、TMAl、TMIn、Cp2Mg等MO源纯度，超高纯氨气纯度达到同期国内先进水平，满足外延工艺要求。
    （3）拥有自主知识产权。
    （4）建立产业化生产线。
    （5）本年新增投资不低于1000万元。
    4、项目实施期限：两年
    5、资助限额：200万元
    （二）大功率LED外延片、芯片研发及产业化
    1、领域：半导体照明
    2、主要研究内容：
    （1）采用MOCVD设备生长高质量氮化镓p-n结构，通过对结构的设计提高LED外延片的光电转换效率。
    （2）开发拥有专利技术的大效率LED芯片。
    3、考核指标：
    （1）光电转换效率达1101m/W以上。
    （2）建立产业化生产线。
    （3）本年新增投资不低于1000万元，不低于5台MOCVD。
    4、项目实施期限：两年
    5、资助限额：500万元
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