全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程(doc 21页)

全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程目录:
1、适用范围
2、技术要求
3、原材料标准
4、工艺流程图
5、清洗
6、准备
7、烘干
8、型镀膜机镀膜
9、封口
10、退火

 

全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程内容提要:
6.3.2.2开机
开启本机电源。
将机箱控制面板上的电源开关置于“开”的位置，屏幕出现系统自检过程，直到控制系统的第一个画面。按下“维持泵”按钮，延时1分钟后，“维持阀”开，按下“机械泵”按钮，然后再按下“粗抽阀”按钮，当电离计显示数值低于7Pa时，开扩散泵，记录扩散泵加热时间。扩散泵加热超过90分钟后，方可进行正常的操作。
分别缓慢调节氩气、氮气、乙炔三个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气的低压表读数控制在0.1~0.2MPa之间，不得超过0.2MPa；乙炔低压表读数控制在0.05~0.1MPa之间。
打开质量流量计显示器电源开关，进行预热约5分钟。
打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。
按下“放气”按钮，放气后按下“停”，然后打开镀室门，用吸尘器清理镀室。
6.3.2.3 装管
       同6.2.2.3条的规定
6.3.2.4 粗抽真空
      选择“自动”状态，系统首先进入“粗抽”，2分钟后开压强控制仪电源，热偶计开始显示读数。
6.3.2.5 精抽真空
      当热偶计显示值小于7Pa时，自动进入“精抽Ⅰ”，同时打开电离计。
6.3.2.6 清靶
a. 当高真空达到0 .8×10-2Pa（电离计显示值）后，自动进入“精抽Ⅱ”。
b.转架旋转电源开关自动打开，检查电压是否在60±10V之间，不符合则用手动调整。
c.等复合压强控制仪稳定后，手动起靶，直至放电正常，然后调节电流旋
钮，直至电压达400V以上。
6.3.2.7 溅射镀膜
启动计算机，按下“运行”键。
按下机箱控制面板上的“镀膜”按钮。
当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工不得离开控制柜，随时观察设
    备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写
  《镀膜操作记录》。
6.3.2.8 装配支架
       同6.2.2.8的规定
6.3.2.9 终止溅射镀膜   
     计算机运行完前2~1秒，执行如下操作：
按下靶电源“停止”键，然后把激磁电流调至“0”值。
按下计算机“复位”键。
按下“镀膜完成”画面上的“返回”按钮，放气完毕后，按下“停”按钮。
当镀室内真空度达到9.0×10-3Pa以上后，高阀自动关闭，关复合压强控制仪电源，选择“手动”状态，按下“放气”按钮，放气完毕后，按下“停”按钮。
6.3.2.10出管同6.3.2.10的规定
6.3.2.11连续工作时重复6.3.2.3~6.3.2.10的操作步骤。
6.3.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。
6.3.3   关机
6.3.3.1 当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序
6.3.3.2 在镀膜机停止工作前，先关镀室门，按下“粗抽”按钮，将镀室真空度抽到7Pa以下。
6.3.3.3 按“停”按钮，按“扩散泵”按钮停扩散泵。
6.3.3.4 关三气总阀（高压、低压）.
6.3.3.5 在扩散泵停止加热90后，按下“维持泵”按钮停维持泵。
6.3.3.6 关循环水，关电源总开关。
6.3.3.7 若设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干。

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