离子注入工艺培训课件(ppt 53页)
离子注入工艺培训课件(ppt 53页)内容简介
主要内容
第四章 离子注入工艺
一.离子注入工艺设备结构
二、离子注入工艺的特点
基个概念:
三、离子注入原理
4.1核碰撞和电子碰撞
核碰撞和电子碰撞:
(一)、核阻止本领
(二)电子阻止本领
(三)射程的概念
4.2注入离子的分布
(一)纵向分布
注入离子的分布计算
注入离子分布
离子注入结深计算
(二)横向效应
(三).沟道注入
(四)复合(双层)靶注入
4.3 注入损伤
一.损伤的形成
二.移位原子数的估算
三.非晶层的形成
四、损伤区的分布
. 4.4 热退火
2.硼的退火特性
3.磷的退火特性
热退火问题
4.扩散效应
5.快速退火
4.5 离子注入优缺点
三.自对准金属栅的结构
四. 离子注入的应用
..............................
第四章 离子注入工艺
一.离子注入工艺设备结构
二、离子注入工艺的特点
基个概念:
三、离子注入原理
4.1核碰撞和电子碰撞
核碰撞和电子碰撞:
(一)、核阻止本领
(二)电子阻止本领
(三)射程的概念
4.2注入离子的分布
(一)纵向分布
注入离子的分布计算
注入离子分布
离子注入结深计算
(二)横向效应
(三).沟道注入
(四)复合(双层)靶注入
4.3 注入损伤
一.损伤的形成
二.移位原子数的估算
三.非晶层的形成
四、损伤区的分布
. 4.4 热退火
2.硼的退火特性
3.磷的退火特性
热退火问题
4.扩散效应
5.快速退火
4.5 离子注入优缺点
三.自对准金属栅的结构
四. 离子注入的应用
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