材料与薄膜相关资料(doc 6页)

材料与薄膜相关资料内容提要：
1真空度与压强的关系，粗，低，高，超高真空如何划分。托、大气压之间的关系
答：压强越低意味着单位体积中气体分子数愈少，真空度愈高，反之真空度越低则压强就越高。
粗真空：（1X105~1X102Pa）低真空（1X102~1X10-1 Pa）高真空（1X10-1~1X10-6 Pa）
超高真空（<1X10-6 Pa）           1托＝1/760大气压
2为气体临界温度。气体与蒸气区别、平均自由程、余弦散射定律
答：气体临界温度：对于每种气体都有一个特定的温度．高于此温度时．气体无论如何压缩都不会液化，这个温度称为该气体的临界温度。
气体与蒸气区别：温度高于临界温度的气态物质称气体，低于临界温度的气态物质称为蒸气
平均自由程：每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为“自由程”，这是一个描述气体性质的微观参量，其统计平均值称为“平均自由程”。
余弦散射定律：碰撞于固体表面的分子，它们飞离表面的方向与原入射方向无关．并按与表面法线方向所成角度θ的余弦进行分布。
3简述旋片机械泵、扩散泵、分子泵原理及真空范围使用时是否需配前级泵
答：旋片机械泵原理：通过悬片的转动将待抽真空的容器中的气体吸入并压缩排出机械泵，通过此原理不断循环，从而使容器达到真空。
真空范围：1大气压——10-2pa       不需要使用前级泵
扩散泵：扩散泵是利用被抽气体向蒸气流扩散的现象来实现排起作用的。
真空范围：1——10-6Pa      需要前级泵
分子泵：靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口，由前级泵抽走，而使被抽容器获得超高真空。
真空范围：1——10-8Pa     需要前级泵
4简述热阻、热偶、热阴极电离真空计原理及测量原理
答：热阻真空计原理：通过测量热阻丝的电阻随温度变化，建立电阻与压强的关系，间接确定压强，从而实现对真空的测量。    104 Pa——10-2Pa
热偶真空计原理：低压强下气体热传导与压强有关，用热电偶测量热丝温度，建立气体压强与热偶电动势之间的关系，从而确定真空室压强。      102 Pa——10-1Pa
热阴极电离真空计原理：电子在加速电场中获得能量，参与气体分子碰撞将发生电离，产生正离子和次级电子，正离子数正比于气体密度，即在一定温度下正比于气体压强，根据离子电流大小，来测压强。    10-1Pa——10-6Pa
5典型真空系统组成是什么？何为极限真空及抽气速率
答：典型真空系统组成：待抽空的容器(真空室)、获得真空设备(真空泵)、测量真空的器具(真空汁)以及必要的管道、阀门和其他附属设备。
极限真空：系统所能达到的最低压强。
抽气速率：在规定压强下单位时间所抽出气体的体积。

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