薄膜表征培训课程(ppt 121页)

薄膜表征培训课程目录：
第一节
一、沉积率和厚度监测仪
二、膜厚度测量
第二节、组分表征
一、卢瑟福背散射（RBS）
二、二次离子质谱（SIMS）
三、X射线光电子能谱法
四、俄歇电子能谱法
五、电镜中的显微分析
第三节、薄膜的结构表征
一、衍射参数
二、热振动与Debye-Waller因子
三、低能电子衍射（LEED）
四、掠入射角X射线衍射（GIXS）
五、透射电子显微镜
第四节、原子化学键合表征
一、能量损失谱（EELS）
二、扩展的X射线（EXAFS）
三、振动光谱：红外吸收谱和拉曼光谱
第五节、薄膜应力表征

 

薄膜表征培训课程内容提要：
卢瑟福背散射（RBS）：
用氦离子以接近法线的方向入射到样品上
样品中的杂质将氦离子背散射出来
背散射氦离子带有的能量取决于杂质的质量和杂质在晶体中的深度
背散射出来的氦离子被收集并进行能量分析，可以确定圆片内化学组分在深度方向的分布情况

 

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