压力传感器的温度补偿(DOC 36页)

第1章绪论.......1
1.1本课题研究的目的和意义.......1
1.2压力传感器的发展概况.......2
1.2.1压力传感器的发展历程.......2
1.2.2压力传感器国内外研究现状.......3
1.2.3压力传感器的发展趋势.......4
1.3传感器的常用术语.......4
1.4传感器的技术特点及环境影响.......7
第2章压力传感器的原理.......9
2.1压力传感器的基本原理.......9
2.1.1半导体的压阻效应.......9
2.1.2压力传感器的原理及结构.......10
2.1.3压力传感器的特性指标.......11
2.2压力传感器温度漂移产生的机理.......14
第3章压力传感器的温度补偿.......16
3.1温度补偿的技术指标.......16
3.2补偿方式简介.......17
3.2.1内部补偿.......17
3.2.2外部补偿.......17
第4章总结.......26
谢辞.......27
参考文献.......28
附录.......29
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