特种气体系统工程技术规范(DOC 31页)

1两种或两种以上的气体有害物混合后能引起燃烧或爆炸时；
1压力试验采用气压试验，试验气体宜采用高纯氮气或氩气。
1双套管焊接施工时，先实施内管的焊接，在焊口处必须安装滑套；
1喷水强度8L/min.m2，保护面积160m2。
1在洁净房内施工作业时，应在前室除去外包装，
在临时洁净加工场加工完成的组件应用塑料薄膜包装，用夹具定位后进行预连接；
1在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；
1室内洁净度不低于7级，湿度不高于60%；
1室外施工时，应将带包装的管道、管件搬至临时洁净加工场加工；
表3.1.3生产厂房内最大允许储存量
表5.2.2硅烷站与其他建筑物、构筑物、道路的防火间距（m）
表6.3.3小尺寸轨道壁厚要求
表6.4.1特种气体管路标示颜色
表6.6.3标示参数与管径的对照
附录A电子工业用特种气体的主要物化性质（单一气体）
附录B电子工业用特种气体举例
附录Ｃ特种气体管道氦检漏方法
附录Ｄ.1压力测试记录表
附录Ｄ.2氦检漏测试记录表
附录Ｄ.3颗粒测试记录表
附录Ｄ.4水分测试记录表
附录Ｄ.5氧分测试记录表
附录Ｄ系统验收测试记录表
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