环境扫描电子显微镜介绍(PPT 79页)

环境扫描电子显微镜
普通高真空扫描电镜（CSEM）
E-T二次电子探头
环境扫描电镜
多级压差光阑
在环境扫描电镜中如何维持高真空扫描电镜的高分辨率的特性？
电子在气体中的散射：
按m值的高低将电子的散射分成三个部分：
电子束的束斑尺寸由散射的电子使束斑展宽的程度决定，
电子束的束流为散射的电子、未散射的电子的总和。
既使在部分散射区图像的分辨率仍由未散射的束电子部分决定，
而散射的束电子部分只是背底噪音，并由此引起束流的降低。
二、气体的作用
三、二次电子探测器
环境二次电子探测器：
气体二次电子探头(GSED)
新型气体二次电子探头LFGSED
ESD探测器成像
四、X射线能谱分析：
电子束同时也激发样品室中的气体产
生气体元素的特征X射线。
人体组织
动植物表面
昆虫(活体)
牙膏
微生物
NaCl溶解-结晶过程
加热台
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