钢表面复合处理工艺研究论文(PDF 72页）

1．3表面涂层技术⋯5
1．3．1 CVD涂层技术⋯⋯⋯⋯．6
1．3．2 PVD涂层技术⋯⋯⋯⋯．6
1．3．3 PECVD涂层技术⋯⋯⋯．．7
1．4离子氮化与PECVD复合处理技术．．8
1．4．1复合处理技术的设计思想．．9
1．4．2复合方法的选择⋯⋯⋯10
1．4．3复合涂层的结合强度⋯．．11
1．4．4复合涂层的磨损特性⋯．．12
1．5 TiCN膜的研究进展⋯⋯⋯⋯13
1．5．1等离子体化学气相沉积⋯14
1．5．2中温化学气相沉积⋯⋯．14
1．5．3多弧离子镀⋯⋯⋯⋯．15
1．5．4空心阴极离子镀⋯⋯⋯15
1．5．5离子束辅助沉积⋯⋯⋯15
1．5．6脉冲高能量密度等离子体沉积⋯⋯⋯⋯16
1．6本研究的内容及意义⋯⋯⋯．．16
1．6．1本研究的内容⋯⋯⋯．．16
1．6．2本研究的意义⋯⋯⋯．．17
第二章实验方案设计与性能检测⋯⋯．18
2．1实验方案⋯⋯18
2．1．1基体材料18
2．1．2钛源的选择⋯⋯⋯⋯．18
2．1．3离子渗氮及镀膜设备⋯⋯⋯⋯．⋯⋯．19
2．1．4试验工艺研究路线⋯⋯．20
‘ 2．2涂层性能检测．．21
中南大学硕士学位论文目录
2．2．1硬度的测定⋯⋯⋯⋯．21
2．2．2结合强度的测定⋯⋯⋯21
2．2．3表面形貌、显微结构的观测及薄膜的物相分析⋯⋯⋯⋯．22
2．2．4耐磨性的测定⋯⋯⋯．．22
第三章离子渗氮处理的工艺研究⋯⋯．24
3．1温度和时间对H13钢离子渗氮渗层的影响⋯⋯．．24
3．2渗氮气氛对H13钢离子渗氮渗层的影响⋯⋯⋯．28
3．3工作气压对H13模具钢离子渗氮层的影响⋯⋯．．28
3．3．1工作气压对渗氮层厚度的影响⋯⋯⋯⋯28
3．3．2工作气压对渗氮层硬度的影响⋯⋯⋯⋯30
3．3．3渗氮层的物相组成⋯⋯．31
3．4渗氮层的耐磨性32
3．4．1不同工作气压离子渗氮磨损性能对比⋯⋯32
3．4．2磨损机理分析⋯⋯⋯．．35
3．5小结⋯⋯⋯．38
第四章MOPCVD法沉积TiCN膜工艺探索．．39
4．1 MOPcVD法沉积TiCN膜工艺探索．39
4．1．1正交试验39
4．1．2正交试验结果⋯⋯⋯．．41
4．1．3正交试验结果分析⋯⋯．41
4．1．4 TPT蒸发温度对沉积TiCN膜的影响⋯⋯．．43
4．2 TiCN薄膜的形貌观察及物相分析45
4．3小结⋯⋯⋯．48
第五章(PN+MOPCVD—TiCN)复合处理工艺初探⋯⋯⋯．49
5．1表面及截面硬度比较⋯⋯⋯．．49
5．2结合强度性能比较⋯⋯⋯⋯．51
5．3小结⋯⋯⋯．53
第六章结论与展望⋯．54
6．1结论⋯⋯⋯．54
6．2展望⋯⋯⋯．54
参考文献⋯⋯⋯⋯．56
致谢．61
攻读硕士学位期间发表的学术论文⋯⋯62
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