RENA前后清洗工艺培训(PPT 65页)

太阳能电池的种类及效率
制造太阳能电池的基本工艺流程
一、 RENA Intex 前清洗工艺培训
制绒的目与原理
酸制绒工艺涉及的反应方程式
前清洗工艺步骤
Etch bath
刻蚀槽的作用
Alkaline Rinse
碱洗 槽的作用：
Acidic Rinse
酸洗槽的作用
补液
前清洗补液原则
SPC 控制
前清洗工序工艺要求
工艺卫生
二、 RENA InOxSide 后清洗工艺培训
后清洗的目的与原理
湿法刻蚀原理
刻蚀中容易产生的问题及检测方法
去除磷硅玻璃的目的
去 PSG 原理方程式：
三、前后清洗吹不干排查流程
片子表面有水珠吹不干处理步骤流程图
各种吹不干的片子处理方法：
四、前后清洗十项影响效率、良率(或特定电参数)的原因
A. 片源不同
B. 药液浓度的稳定性
C. 温度的波动
D. 设备喷淋的异常
E. 过刻的异常
F. 设备滚轮的变形异常
G. 设备 PM 彻底性和细化
H. 测量仪器的短缺
I. 工艺规定和要求执行的不彻底
J. 员工的操作不当、质量意识欠缺以及作业区 5S 执行状况
五、前后清洗换药规程
1、更换刻蚀槽药液
2、更换碱槽药液
..............................