光刻机简单介绍(PPT 36页)

1.发展史
2.光刻机概述
3.光刻机构造
4.相关技术
1.接触式光刻机
2.接近式光刻机
3.投影式光刻机
4.扫描式光刻机
5.步进式光刻机
6.步进扫描式光刻机       
光刻机简单介绍
光刻机发展过程
光刻机概述（一）
光刻设备概述（二）
光刻机
光刻机基础
光学基础知识
光刻机整体构造
光学系构造
光刻机构造－干涉滤光镜
光刻机构造－复眼lens
光刻机构造－SHUTTER  UNIT
光刻机构造－Stage unit（1）
光刻机构造－STAGE UNIT （2）
光刻机构造－Stage unit（3）
工作台定位－HP干涉计
工作台定位：移动境、固定境
光刻机构造－LENS  CONTROLLER
LC倍率控制的实现
LC与AUTOFOCUS的关系
光刻机－相关特性参数
数值孔径
分辨率： R
焦点深度：DOF
分辨率、焦深、NA关系
离轴照明
离轴照明的优点
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