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薄膜材料与技术概述(ppt 30页)

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技术表格
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薄膜材料与技术概述(ppt 30页)内容简介
主要内容
5.1 薄膜的厚度/沉积速率
5.2 薄膜形貌/结构
5.3 薄膜成分
5.4 薄膜的附着力

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