表面处理技术概论-气相沉积技术(ppt 96页)

主要内容
5.1 物理气相沉积
5.1.1 真空蒸发沉积
5.1.2 电阻蒸发沉积
5.1.3 电子束蒸发沉积
5.1.4 溅射沉积
5.1.5 离子镀
5.1.6 外延沉积（生长）离子镀
5.2 化学气相沉积技术
5.3 气相沉积技术制备薄膜
思考题

 

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