LED工艺简介(PPT 48页)

LED工艺简介
讲师：
LED白光
LED的前程
LED芯片的实物照片
衬底片
MOCVD外延
MOCVD机台
第一步     清洗
第二步n区光刻
爆光机
Plasmalab System 133
去胶
p电极蒸发
蒸发机台
P电极光刻
P电极腐蚀
P电极合金
合金炉
N电极光刻
N电极蒸发
N剥离
N退火
P压焊点光刻
P压焊点蒸发
P压焊点剥离
钝化层沉积
PECVD机台
钝化层光刻
钝化层刻蚀
钝化层去胶
中道终测检验
减薄
划片
裂片
扩膜
划片,裂片工作流程图
测试分检
测试机
LED:What’s inside?
交通灯
全彩显示
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