多晶硅锭定向凝固生长方法概述(PPT 96页)

8.5.1 铸锭浇注法
8.5.2 定向凝固法
定向凝固法
8.5.3 电磁感应加热连续铸造(EMCP)
8.5.3电磁感应加热连续铸造(EMCP)
8.5.3 电磁感应加热连续铸造(EMCP)
Electromagnetic casting method
8.5.4 多晶硅铸锭
坩埚喷涂
8.5.4 多晶硅铸锭
多晶硅铸锭
多晶硅铸锭炉设备
定向凝固中的一些工艺参数
铸造多晶硅
多晶硅中的杂质
多晶硅中的杂质(1)多晶硅中的氧
多晶硅中的杂质(2)多晶硅中的碳
多晶硅中的杂质(4)多晶硅中的氮
多晶硅中的过渡族金属元素
多晶硅中的缺陷
多晶硅中的缺陷
半导体级高纯硅的制备
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