半导体制造中具有重入的双臂组合设备的调度(PDF 89页)

目录⋯⋯⋯⋯一V
Content．⋯⋯⋯．⋯．．．⋯⋯．VHI
第一章绪论⋯～l
1．1课题研究背景⋯⋯l
1．1．1半导体制造产业的发展现状⋯⋯⋯．1
1．1．2晶圆制造工艺概述⋯⋯．3
1．2组合设备调度问题概述⋯⋯⋯4
1．2．1自动化组合设备⋯⋯⋯．4
1．2．2组合设备系统控制复杂性分析⋯⋯．．5
1．2．3国内外研究现状⋯⋯⋯．6
1．3相关调度问题研究．7
1．4本文研究内容和组织结构⋯⋯9
1．4．1论文的研究内容⋯⋯⋯．．9
1．4．2论文的组织结构⋯⋯⋯⋯9
1．5本章小结⋯⋯⋯．．10
第二章组合设备的Petri网建模⋯⋯．11
2．1系统的Petri网建模⋯⋯⋯⋯．11
2．1．1带重入工艺的晶圆加工过程描述⋯11
2．1．2有限容量的Petr i网⋯11
2．2对机械手的建模⋯12
2．3对加工模式的建模13
2．4对活动时间的建模17
2．5本章小结⋯⋯⋯⋯18
第三章带重入加工的双臂组合设备的调度分析⋯19
3．1基于3一晶圆调度方法的分析．19
V
广东工业大学硕士学位论文
3．1．1基于3一晶圆调度方法下机械手和系统状态描述⋯⋯⋯⋯一19
3．1．2基于3一晶圆调度方法下系统的生产周期分析一20
3．2基于2一晶圆调度方法的分析．22
3．2．1基于2一晶圆调度方法下机械手和系统状态描述⋯⋯⋯⋯．．22
3．2．2基于2一晶圆调度方法的仿真算法开发⋯⋯⋯一23
3．3本章小结⋯⋯⋯⋯28
第四章基于3一晶圆调度方法的仿真模型建立⋯一29
4．1 eM-P I ant简介⋯．29
4．2 3一晶圆调度方法仿真模型⋯一30
4．2．1模型框架⋯30
4．2．2初始状态模拟⋯⋯⋯⋯32
4．2．3机械手控制34
4．2．4跚控制出入控制⋯⋯一37
4．2．5系统加工周期记录⋯⋯39
4．2．6参数化界面40
4．3仿真实例⋯⋯⋯⋯40
4．4本章小结⋯⋯⋯⋯4l
第五章基于2一晶圆调度方法的仿真模型建立⋯一42
5．1基于eM-P I ant的仿真模型建立⋯⋯⋯⋯42
5．1．1调度1仿真模型建立⋯42
5．1．2调度2仿真模型建立⋯52
5．2仿真实例⋯⋯⋯⋯55
5．3本章小结⋯⋯⋯⋯57
第六章实例分析⋯⋯⋯．．58
6．1实例一．58
6．2实例二59
b．3实例三6l
6．4实例四62
6．5实例五63
vI
目录
6．6实例六⋯65
6．7本章小结⋯⋯⋯．．66
总结与展望⋯．67
总结⋯⋯⋯．67
展望⋯⋯⋯．67
参考文献⋯⋯⋯69
攻读学位期间发表的论文．74
学位论文独创性声明⋯⋯．．75
致谢．．76
..............................