净化间动力及净化设备概述(PDF 60页)
净化间动力及净化设备概述(PDF 60页)内容简介
RIE/ICP/LPCVD/光刻机
RIE/ICP/磁控/LPCVD/清洗台(KOH)
保持净化间恒温恒湿环境
保障设备
保障设备体系
光刻机/涂胶机
冰水机
原理与操作
恒温/恒湿机
日常维护
清洗台/显影台
空气压缩机
纯水机
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RIE/ICP/磁控/LPCVD/清洗台(KOH)
保持净化间恒温恒湿环境
保障设备
保障设备体系
光刻机/涂胶机
冰水机
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日常维护
清洗台/显影台
空气压缩机
纯水机
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