真空设备应用教材(PPT 36页)

真空歷史背景
為什麼用真空
真空系統元件介紹
真空鍍膜設備介紹
真空鍍膜產品
目前與未來
真空設備應用
內容
取得真空環境後可產生大氣中沒有的新現象
真空鍍膜技術應用
真空鍍膜設備應用
如何抽真空
真空設備介紹
批次式(batch type)濺鍍系統
連續式(立式In-line)濺鍍系統
連續式(臥式In-line)濺鍍系統
Cluster
CVD Furnace
電漿
Thin Film in LCD
OLED
太陽能電池
LED
LED 製作流程
其它鍍膜應用
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