集成电路的基本制造工艺教材(PPT 67页)

在硅衬底上制作MOS晶体管
自对准工艺
完整的简单MOS晶体管结构
有源区
Example: Intel 0.25 micron Process
Interconnect Impact on Chip
深亚微米CMOS晶体管结构
BiCMOS工艺分类
以P阱CMOS工艺为基础的BiCMOS工艺
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