集成电路工艺技术讲座(PDF 72页)
集成电路工艺技术讲座(PDF 72页)内容简介
• 金属化概论
• 金属化系统
• PVD形成金属膜-蒸发和溅射
• 平坦化和先进的互连工艺
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• 金属化系统
• PVD形成金属膜-蒸发和溅射
• 平坦化和先进的互连工艺
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