PVDCVD设备介绍(PPT 45页)

AMAT System
Mainframe+Process Chamber+Remote
Subsystem
了解次系統觀念與次系統工作原理與應用
廠務設計(facility)
主機系統輔助設備
反應室輔助設備
大綱
安全(SAFETY/LOCKOUT TAGOUT)
概說(Introduction)
主機平台(MAINFRAME)
廠務設施設計(System Facilities)
電力系統(AC POWER BOX/POWER DISTRIBUTION)
傳送反應室(Transfer Chamber)
傳送機制(Wafer Handling)
晶舟承載(Loadlock Chamber)
輔助反應室(Auxiliary Chamber)
系統控制器(SYSTEM CONTROLLER)
高週波(射頻)產生器(GENERATOR RACK)
熱交換系統(HEATER EXCHANGER)
氣體傳送系統(GAS DELIVERY SYSTEM)
真空系統(VACUUM SYSTEM)

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