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半导体工艺--硅和硅片的制备(PDF 55页）

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工艺技术
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半导体工艺
半导体工艺--硅和硅片的制备(PDF 55页）内容简介
硅材料精炼成半导体级硅
 晶体结构和生长方法
 硅晶体的主要缺陷及种类
 硅片制备
 硅片质量的七个标准
 外延
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