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MEMS工艺技术培训课程(PDF 70页）

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工艺技术
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MEMS工艺技术培训课程(PDF 70页）内容简介
1.什么是 MEMS?
2.CMOS & MEMS 的差异
3.MEMS 工艺分类
4. MEMS技术的发展趋势
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