半导体材料和集成电路平面工艺基础(PPT 57页)
半导体材料和集成电路平面工艺基础(PPT 57页)内容简介
第一章: IC平面工艺及发展概述
第二章:半导体材料的基本性质
第三章:Si单晶的生长与加工
第四章:几种化合物半导体的材料生长与加工
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第二章:半导体材料的基本性质
第三章:Si单晶的生长与加工
第四章:几种化合物半导体的材料生长与加工
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