半导体制造工艺过程培训课件(PPT 33页)

1、概述
2、晶体生长与圆晶制造
3、硅的氧化
4、光刻与刻蚀
5、扩散与离子注入
6、薄膜沉积
半导体制造工艺过程
目录
概述
晶体生长与圆晶制造
热氧化
光刻与刻蚀
扩散与离子注入
薄膜沉积
半导体制造过程控制
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