微波管总成工艺课件(PPT 60页)

第四章 微波管总成工艺
§4.1微波管的装配
高频系统的冷态参量
4.1-1微波管装配的一般要求
4.1-2微波管装配的特点
4.1-2微波管装配的特点
§4.2排气设备和真空泵
微波管的排气台
（一）真空系统
超高真空排气台真空系统示意图
（1）对真空系统的要求
（b）抽气速率
（c）真空系统结构
（2）真空度单位与真空区域的划分
（a）真空度单位
（b）真空区域的划分
我国真空区域划分为：
一般电真空器件管内真空度如下：白炽灯泡
（二）去气设备、电源以及控制装置
（2）电源
（3）控制与安全装置
（三）排气台的分类
4.3微波管排气
4.3-1微波管排气的一般过程
（1）接管与检漏
（2）去气
（a）升温：
（b） 一次保温：
（c）系统烘烤 
（3）阴极处理
（b）阴极激活老练
（c）初测发射
（d）二次保温（阴极激活老练）
（4）封离
（a）降温
（f）封离
4.3-2排气不充分的影响
§4.4微波管的老炼与调试、包装
4.4-2微波管老练调试一般工艺过程
磁控管老练调试一般工艺过程：
行波管老练调试一般工艺过程：
（一）聚焦磁场安装及调试（1）磁系统的测量与预调
（3）静态流通调试
行波管老练调试一般工艺过程： （二）高频调试
（三）整管包装
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