太阳电池多晶硅锭生产工艺技术原理简介(PPT 40页)

一、引言
二、多晶炉内热场与硅锭的组织结构
三、定向凝固时硅中杂质的分凝
四、定向凝固硅晶体生长工艺方法
五、热交换法多晶炉型
六、热交换法工艺讨论
七、结晶炉结构类型的选择
八、多晶硅片的高效率、高质量生产方向
太阳电池多晶硅锭生产工艺技术原理简介
二、多晶硅锭的组织结构与结晶炉热场
杂质元素和缺陷沿硅锭高度的分布
晶体生长的界面稳定性
实际长晶时热量和质量的混合传输
ALD炉的结构
典型结晶生长周期的参数
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