集成电路工艺课件(PPT 105页)

集成电路工艺
集成电路制备主要工艺及设备
1.晶片制备
 2. 前道工艺
3. 后道工艺
Chap0  绪 论
0．1 微电子器件工艺的发展历史
比     较
0．2 集成电路的发展历史
集成电路50年变迁：芯片制造商达到空前水平
以下为集成电路50年来的简要发展和应用情况：
2、半导体设备与铅结构模型
3、分子电子计算机
4、集成电路应用于导弹制导系统
5、戈登-摩尔提出摩尔定律
6、“Busicom 141-PF”计算机
7、英特尔4004微处理器
8、“普尔萨”数字手表
9、集成电路工艺突飞猛进
Explosive Growth of Computing Power
2.我国集成电路的发展历史
0.4 集成电路制造工艺实例
0．3．1 硅外平面晶体管工艺流程 
0．3．2 硅外平面晶体管工艺流程
0．3．3  MOS器件工艺流程

..............................