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集成电路工艺硅的晶体结构培训课件(PPT 37页)

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工艺技术
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集成电路工艺,晶体结构,培训课件
集成电路工艺硅的晶体结构培训课件(PPT 37页)内容简介
Chap 1  硅的晶体结构
1.1  硅晶体结构
1.2  晶向、晶面和堆积模型
1.3  硅晶体中的缺陷
1.4 硅中杂质
1.5 杂质在硅晶体中的溶解度
衬底制备
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