外延工艺简介(PPT 47页)

什么叫外延生长？
硅外延的基本原理
外延设备及所用的气体
在外延中应注意的问题
外延层中的晶体缺陷
外延的质量表征因子
外延层测试设备
目前国内外延的动态
 外延工艺简介
什么叫外延？
硅外延的基本原理:
外延生长掺杂原理
外延设备及所用的气体：
各种硅外延炉比较
在外延中应注意的问题：
外延生长中的自掺杂
图形漂移、畸变
外延层中的晶体缺陷：
外延的质量表征因子：
外延层测试设备：
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