稀有气体回收装置使用手册(DOC 28)
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稀有气体回收装置使用手册(DOC 28)内容简介
1. 引言....3
2. 总述....4
3. 安全措施的说明....5
4. 技术维护的种类和周期性....6
5. 技术维护的顺序....7
5.1 固定的技术维护的顺序....7
5.2 周期性的技术维护的顺序....8
5.3 不取出绝热材料的情况下对装置设备进行气密性试验....10
5.4 吸附器AP16的维护顺序....24
5.5 焙烧炉AP5和气体再净化装置AP18的维护顺序....25
附录A....26
附录Б....27
..............................
2. 总述....4
3. 安全措施的说明....5
4. 技术维护的种类和周期性....6
5. 技术维护的顺序....7
5.1 固定的技术维护的顺序....7
5.2 周期性的技术维护的顺序....8
5.3 不取出绝热材料的情况下对装置设备进行气密性试验....10
5.4 吸附器AP16的维护顺序....24
5.5 焙烧炉AP5和气体再净化装置AP18的维护顺序....25
附录A....26
附录Б....27
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