PECVD生产操作规程(PPT 37页)

PECVD生产操作规程
1 安全警告
2 安全与标识
3 开机
3.1 开总电源
3.2 启动计算机
3.3 检查冷却水
3.4 检查气源
3.5 启动“system”程序
4 选择工艺单、生产
4.1 开真空泵，预加热
4.2 启动指定工艺
4.3 检查工艺运行情况
4.4 传动状态测试
4.5 进行工艺调试，生产
5 停机
5.1 停止工艺运行
5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫
5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2
5.4 退出控制程序，关主电源
5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水
  PECVD生产操作规程

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