MSF维修培训(doc 11页)

一、 H轴原点调整
二、  Θ轴原点的调整
三、  真空压力的调整
四、  X-Y AXIS直角度调整
五、  NOZZLE有无检测SENSOR调整
六、  NOZZLE CHANGE讲解

一、 H轴原点调整
H轴原点是通过NOZZLE SHAFT上端的径向轴承最低的NOZZLE来进行调整的，SHAFT的长度由于在UNIT制造时被制作成±0.02 mm以内,所以有0.04 mm 偏差量。

1.  最低NOZZLE的选定：
    各NOZZLE单独选择 (用SUB CONTROL单独选定) ,并MANU (ON/OFF) 上下动作,通过打在NOZZLE下面的百分表的动作来进行判定 (需使用JIG，加在被测HEAD上)，选出位置最低的HEAD SHAFT。
． 以最低NOZZL为基准，通过NC MOVING，设定H = 0（ORG 0.101），通过手动下降（手盘ON / OFF），使得百分表摆动为0.1mm，即H轴PLATE与NOZZLE上端COLLER的间隙为0.1mm。……

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