设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范(doc 8页)

一、 目的
二、 范围
三、 参考标准
四、 术语
五、 设备状态
六、 三性测试

这个标准在技术上已被全球公制委员会核准，并由北美公制委员会直接负责。目前的版本在2001年3月1日被北美地区标准委员会核准通过。2001年6月将在国际半导体设备和材料协会试行，之后同月公布。其第一版公布于1986年，上一版公布于1999年6月。
一、目的
1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性（可靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
二、范围
2.1 这份文献定义了设备的6种基本状态。它包括了设备的任何时间所有可能的状态。设备的状态由其功能状况决定，而不管操作者是谁。在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断，而不是对设备的所有时间。
2.2 本文献第三节（设备状态）定义了如何对设备时间分类。第六节（三性测试）定义了测试设备状态的公式。第七节（不确定测试）另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
2.3 有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。自动监测设备状态是标准SEMI E58中的内容，并不在本规范中。设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。三性指数可以适用于子系统水平（例如过程模块）的多路径组工具。
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