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某工业大学微电子工艺基础掺杂技术(PPT 79页)

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工艺技术
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工业大学,微电子,电子工艺,技术
某工业大学微电子工艺基础掺杂技术(PPT 79页)内容简介
1、熟悉掺杂技术的两种方式
2、熟悉扩散掺杂的原理
3、掌握离子注入相关概念及其原理
4、熟悉离子注入的工艺流程
5、了解离子注入系统的设备及其优点
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