西安理工大学 《半导体集成电路》培训教材(PPT 67页)

BiCMOS工艺分类
Example: Intel 0.25 micron Process
Interconnect Impact on Chip
以N阱CMOS工艺为基础的BiCMOS工艺
以P阱CMOS工艺为基础的BiCMOS工艺
在硅衬底上制作MOS晶体管
完整的简单MOS晶体管结构
有源区
深亚微米CMOS晶体管结构
自对准工艺
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