超净工作台设备验证方案介绍(doc 13页)

超净工作台设备验证方案介绍目录：
1、验证方案的起草和审批
1.1、验证方案的起草
1.2、验证方案的审批
2、验证小组人员名单
3、概述
4、验证目的
5、验证内容
5.1、安装确认
5.1.1、资料档案
5.1.2、设备材质
5.1.3、环境状况
5.1.4、公用介质
5.2、运行确认
5.3、性能确认
6、事件进度表
7、再验证
8、最终评价及验证报告

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