设备可靠性(doc 8)

这个标准在技术上已被全球公制委员会核准，并由北美公制委员会直接负责。目前的版本在2001年3月1日被北美地区标准委员会核准通过。2001年6月将在国际半导体设备和材料协会试行，之后同月公布。其第一版公布于1986年，上一版公布于1999年6月。

 

1.目的

1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性（可靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
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